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CVD管式炉的分类以及使用注意事项说明

点击次数:8225    发布时间:2020-01-03
  CVD管式炉分为:真空,开启式,高温,气氛,快速升温,多温区,立式,高温高压,实验等等。
 
  使用注意事项:
 
  1. 冷炉使用时,由于管式炉膛是冷的,须大量吸热,所以低温段升温速率不易过快,各温度段的升温速率差别不易太大,设置升温速率时应充分考虑所烧结材料的物理化学性质,以免出现喷料现象,污染炉管。
 
  2. 定期检查温度控制系统的电器连接部分的接触是否良好,应特别注意加热元件的各连接点的连接是否紧固。
 
  3.CVD管式炉使用或长时间不用后,要在120℃左右烘烤1小时,在300℃左右烘烤2小时后使用,以免造成炉膛开裂。炉温尽量不要超过额定温度,以免损坏加热元件 及炉衬。禁止向炉膛内直接灌注各种液体及溶解金属,保持炉内的清洁。
 
  4. 炉膛若采用石英管,当温度高于1000℃时,石英管的高温部分会出现不透明现象,这叫失透是连熔石英管的一个固有缺陷,属正常现象。
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